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                  日本samco紫外線臭氧清洗機

                  日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1
                  概述:
                  該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理??梢赃M行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

                  • 產品型號:UV-1
                  • 廠商性質:經銷商
                  • 更新時間:2024-09-04
                  • 訪  問  量:569
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                  日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1

                  概述:

                  該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理。可以進行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

                  特征:

                  -由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。

                  -離子或電子不會對元件造成損壞。

                  -由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。

                  -由于大氣壓處理,不需要真空系統。

                  日本samco紫外線臭氧清洗機 UV-1

                  概述:

                  該裝置是一種UV臭氧清洗機,可以對各種半導體工藝進行干燥處理??梢赃M行有機物去除和表面改性,例如光刻膠灰化以及硅和藍寶石晶圓清洗。配備紫外線燈、臭氧發生器和加熱臺,紫外線照射、臭氧和熱量之間的相互作用可以實現高效的清潔和表面改性,而不會對基材造成電氣損壞。

                  特征:

                  -由于同時使用紫外線 (UV)、高濃度臭氧 (O?) 和載物臺加熱器的熱量,因此可以實現高效清潔。

                  -離子或電子不會對元件造成損壞。

                  -由于配備了使用非貴金屬催化劑的臭氧分解器,因此不需要臭氧處理設備。

                  -由于大氣壓處理,不需要真空系統。

                  日本samco紫外線臭氧清洗機


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