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showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置濺射和離子板

showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置濺射和離子板SPE
真空室主要是配備運輸機器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。
真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。

產品型號：SPE
廠商性質：經銷商
更新時間：2023-04-11
訪問量：811

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產品詳情

品牌	其他品牌	產地	國產

showashinku盒對盒式干法蝕刻裝置濺射和離子板SPE

特征
1.	緊湊型設備尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH）
2.	單晶圓系統，生產率高，是批量生產的理想選擇
3.	加工質量高
	?	單晶圓類型確保高蝕刻均勻性。
	?	背面采用非接觸式氣冷系統，不會損壞基板背面
4.	采用高真空排氣裝置
5.	高可維護性
	?	真空室的小型化便于維護
6.	由于設備外形緊湊，安裝位置沒有限制

設備配置

真空室主要是配備運輸機器人的運輸室，由蝕刻室和盒室三個房間組成。
真空室材料由A5052制成，A5052對運輸室，蝕刻室和盒室都進行了脫脂處理。

排氣系統

渦輪分子泵	1套（蝕刻室）
旋轉泵	2套（蝕刻室、盒式室和運輸室組合）

性能

極限壓力	2.7×10-3Pa以下（蝕刻室）
排氣時間	3分鐘內至0.10×2-2Pa（蝕刻室）
蝕刻深度	65nm *配對BK7玻璃（使用φ3英寸或φ4英寸基板時）
蝕刻分布	±5%以內 *保修區域：50×50mm以下
循環時間	300秒（24張/ 1盒，φ3或φ4英寸板）*參考值

供電系統

射頻電源	最大 500W （13.56兆赫）
匹配盒	全自動匹配規格

氣體引入系統

CF/SF、氦、O2 質量流量控制器 3

控制系統

使用定序器可以進行全自動操作。

處理的基板數量始終顯示在觸摸屏上，并且可以從最新的開始檢查錯誤歷史記錄。

外部尺寸

設備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH
設備重量 1000Kg

公用事業

電力	200V 3φ 50/60Hz 12KVA
冷卻水	ー
壓縮空氣	0.5兆帕 20升/分鐘
N2氣體	0.3兆帕 60升/分鐘

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