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                  您的位置:首頁  -  產品中心  -    -  photonic-lattice  -  ME-210/ME-210-T日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

                  日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀

                  日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T
                  這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
                  支持各種膜厚分布測量。

                  • 產品型號:ME-210/ME-210-T
                  • 廠商性質:經銷商
                  • 更新時間:2023-04-07
                  • 訪  問  量:1481
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                  日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T

                  日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀ME-210/ME-210-T


                  這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
                  支持各種膜厚分布測量。

                  規格

                  • 測量

                  重復性
                  • 膜厚:0.1nm
                    折射率:0.001 *SiO2膜的一點(膜厚:約100nm)重復測量100次時的標準偏差值。

                  測量速度
                  • 最大測量速度
                    900 點/分鐘以上(寬模式,測量 100 平方毫米面積時)
                    5,000 點/分鐘或以上(高清晰模式,測量 1 平方毫米面積時)

                  光源
                  • 半導體激光器(振蕩波長636nm)

                  測量點
                  • 廣域模式:0.5 平方毫米
                    高清模式:5.5 微米平方

                  入射角
                  • 70度

                  尺寸
                  (寬 x 深 x 高)
                  • 270×337×最大631mm

                  兼容透明基材
                  • 兼容 ME-210-T
                    不兼容 ME-210


                  • 住房

                  舞臺尺寸
                  • 支持最大 8 英寸晶圓
                    (最大 ?300 mm 可選)

                  尺寸
                  (寬 x 深 x 高)
                  • ME-210-T 650×650×1744mm
                    ME-210 650×650×1740mm

                  重量
                  • 約200公斤

                  界面
                  • GigE(相機信號)


                  • 其他的

                  界面
                  • GigE(相機信號)

                  電源
                  • AC100-240V

                  軟件
                  • ME-視圖

                  配件
                  • 臺式電腦、顯示器、使用說明書、標準樣品


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