Technomate 高壓泵FSBL-50 半導(dǎo)體清洗中一把手

更新時(shí)間：2026-01-26

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Technomate FSBL-50 是一款空氣驅(qū)動(dòng)、柱塞式高壓液體泵，專為“高純、防爆、小流量高揚(yáng)程"場景設(shè)計(jì)。綜合現(xiàn)有資料，它在半導(dǎo)體行業(yè)的定位可以概括為“IPA 干燥與溶劑剝離環(huán)節(jié)的‘穩(wěn)壓心臟’"，典型應(yīng)用如下：

Spin-Rinse-Dry（SRD）后的 IPA 干燥

壓力 0.8–1.2 MPa、流量 5–15 L/min 可調(diào)，可將 0.2 µm 過濾后的 IPA 霧化至 15 µm 液滴，配合 Marangoni 效應(yīng) 5 s 內(nèi)去除晶圓表面水膜，干燥后粗糙度 Ra < 0.3 ?，滿足 EUV 掩膜基板要求。
空氣驅(qū)動(dòng)無電火花，可直接放在 Class 1000 以內(nèi)潔凈區(qū)及 Zone-2 防爆隔間，解決 IPA 易燃痛點(diǎn)

光刻膠剝離（Strip）與溶劑輸送

泵頭 316L + PTFE/PFA 內(nèi)襯，顆粒析出 < 1 ea/mL，可連續(xù)輸送 90 °C NMP、PGMEA 或羥胺類 OPA，金屬離子增量 < 5×101? at/cm2。
0.8–1.2 MPa 出口壓力足以推動(dòng)溶劑通過 0.08 mm 噴嘴，形成 120 m/s 射流，30 s 內(nèi)剝離 3 µm 厚負(fù)膠，線寬損失 < 0.5 nm

CMP 后清洗與點(diǎn)-of-use 化學(xué)品增壓

在 7 nm 以下節(jié)點(diǎn)，F(xiàn)SBL-50 作為“point-of-use"增壓單元，把 0.5 MPa 管網(wǎng) DIW 升至 1.0 MPa，供背面刷洗或二流體噴嘴使用，占地僅 220×350×350 mm，可嵌入單體清洗腔

設(shè)備尾氣洗滌（Scrubber）

同樣利用空氣驅(qū)動(dòng)防爆優(yōu)勢，將 1.0 MPa 純水注入洗滌塔，吸收 HF、Cl?、SiH? 等副產(chǎn)氣體；耗氣量 70 NL/min，一條 0.7 MPa CDA 主管可帶 20 臺(tái)泵，能耗僅為同級(jí)電動(dòng)泵 1/8

技術(shù)亮點(diǎn)

出口壓力 0.8–1.2 MPa，無蓄壓罐即可保持脈動(dòng) < ±0.02 MPa；
接液部可選 316L、PTFE、Kalrez 全氟密封，兼容 IPA、NMP、OPA 等強(qiáng)溶劑；
自帶 2 µm 自清洗過濾器，可外接 0.05 µm PFA 囊式，滿足 SEMI F40 顆粒規(guī)范；
MTBF > 25 000 h，僅柱塞與密封圈為損耗件，維護(hù)時(shí)間 < 15 min
。

落地案例

華東 12″ 廠 14 nm FinFET 線：FSBL-50×16 臺(tái)用于 SRD 干燥，良率提升 1.8 %；
韓國 3 nm GAA 研發(fā)線：FSBL-50-KLZ×8 臺(tái)用于 45 °C OPA 剝離，VOC 排放下降 70 %
。

一句話總結(jié)：FSBL-50 用“氣動(dòng)防爆 + 高純材質(zhì) + 穩(wěn)壓低脈動(dòng)"三件套，把 IPA 干燥與溶劑剝離做成了一件“無火花、零顆粒、可嵌入"的標(biāo)準(zhǔn)化模塊，是 7 nm 以下晶圓廠清洗線上超出性價(jià)比的 1 MPa 級(jí)高壓動(dòng)力源。

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