山田光學(xué) YP-250I / YP-150I —— 晶圓的“陽光級”專屬檢查燈

更新時(shí)間：2026-01-14

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YAMADA

一、一句話認(rèn)識(shí) YP 系列在 FAB 里，工程師用 SEM 看缺陷、用 AFM 看形貌，但發(fā)現(xiàn)問題的，往往是一束“好光"。山田光學(xué)（Yamada Optics）把“太陽級"顯色、微米級勻斑、零紫外傷害做成兩款晶圓專用檢查燈：YP-250I（12 英寸）與 YP-150I（8 英寸）。開機(jī) 3 秒，即可讓劃痕、顆粒、CoO 霧斑、STI 色差、CMP 凹陷……在 300 mm 硅片上“一眼現(xiàn)形"。

二、型號速覽

| 型號 | 有效光斑 | 推薦晶圓 | 照度 | 顯指 Ra | 色溫 | 壽命 | 功耗 |

| ------- | ------- | ------------ | ------------------- | ----- | ------- | -------- | ----- |

| YP-250I | φ250 mm | 12" (300 mm) | 50 000 lux @ 100 mm | 96 | 5 500 K | 50 000 h | 120 W |

| YP-150I | φ150 mm | 8" (200 mm) | 55 000 lux @ 100 mm | 96 | 5 500 K | 50 000 h | 80 W |

共同點(diǎn)：零 UV 輸出，380 nm 以下強(qiáng)度 < 0.1 μW/cm2，避免光敏膠/Low-k 材料意外曝光無頻閃驅(qū)動(dòng)，手機(jī)拍攝無條紋，便于 AI 視覺復(fù)檢調(diào)光 5–100 %，旋鈕 + 腳踏雙模式，方便明暗場切換桌面/懸臂/導(dǎo)軌三種安裝，兼容任何 OEM 檢查臺(tái)三、核心光學(xué)技術(shù)復(fù)眼透鏡陣列 + 菲涅耳混光板把 196 顆 CSP-LED 的點(diǎn)光源打成 99 % 均勻度（邊緣-中心差 < 3 %），顆粒 0.2 μm 也能出現(xiàn)明顯陰影。零紫外芯片 + 長通濾光片雙重截止 380 nm，黃光區(qū)能量增強(qiáng) 15 %，既保護(hù)光刻膠，又讓劃痕邊緣的散射對比度 +30 %。主動(dòng)散熱隧道鋁擠 + 石墨烯導(dǎo)熱墊，結(jié)溫 < 65 ℃，晶圓表面溫升 < 0.5 ℃，避免熱膨脹導(dǎo)致誤判。無影環(huán)設(shè)計(jì)環(huán)形出光面內(nèi)凹 8°，操作者手指/鑷子陰影被“自環(huán)"補(bǔ)光，真正做到“無影燈"級視野。

四、對比傳統(tǒng)方案

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| 照度 | 45 000 lux | 30 000 lux | 50 000 lux |

| 顯指 Ra | 90 | 80 | 96 |

| 表面溫升 | 3–5 ℃ | 1–2 ℃ | < 0.5 ℃ |

| 年耗電（24 h×250 d | 3 000 kWh | 600 kWh | 216 kWh |

五、場景實(shí)拍12 英寸 CMP 后劃痕在 50 000 lux、Ra 96 燈光下，0.1 μm 深劃痕出現(xiàn)明顯白光散射，與周圍鏡面形成 30 % 灰度差，肉眼可見。8 英寸 Epitaxial 霧斑霧斑直徑 2 mm，與普通顆粒不同，只有在 5 500 K 高顯指環(huán)光下才能看到邊緣彩虹紋，YP-150I 讓缺陷檢出率從 85 % 提到 99 %。CoO 薄膜 Coating 顆粒零紫外設(shè)計(jì)避免光敏膠意外曝光，工程師可邊照邊用鑷子挑粒，無需關(guān)燈。六、安裝方式A. 桌面立式自帶阻尼鉸鏈，0–45° 俯仰，適合單人抽檢。B. 懸臂式鋁合金磁吸懸臂，可 360° 旋轉(zhuǎn)，兼容 KLA、Tokyo Seimitsu 復(fù)檢臺(tái)。C. 導(dǎo)軌嵌入厚度僅 28 mm，嵌入傳送導(dǎo)軌下方，與機(jī)器人取放片無干涉，實(shí)現(xiàn) 100 % 在線外觀檢查。七、智能擴(kuò)展腳踏調(diào)光：雙手持鑷時(shí)，用腳控 5–100 % 無級調(diào)光，避免手套污染旋鈕。外部觸發(fā)：24 V 光電傳感器信號→燈自動(dòng)點(diǎn)亮 5 s，與搬運(yùn)機(jī)器人節(jié)拍同步。AI 視覺套件可選 5 MP 彩色相機(jī) + 山田定制同軸環(huán)光接口，直接輸出 4K 無損 RAW，用于深度學(xué)習(xí)顆粒分類。

七、智能擴(kuò)展腳踏調(diào)光：雙手持鑷時(shí)，用腳控 5–100 % 無級調(diào)光，避免手套污染旋鈕。外部觸發(fā)：24 V 光電傳感器信號→燈自動(dòng)點(diǎn)亮 5 s，與搬運(yùn)機(jī)器人節(jié)拍同步。AI 視覺套件可選 5 MP 彩色相機(jī) + 山田定制同軸環(huán)光接口，直接輸出 4K 無損 RAW，用于深度學(xué)習(xí)顆粒分類。八、使用與維護(hù)每日：無紡布 + 去離子水輕擦出光面，30 s 完成，無暗場殘留水漬。每年：光衰檢測 < 3 % 無需維護(hù)；LED 模組 50 000 h 壽命，相當(dāng)于 24 h×5 年×250 d。校準(zhǔn)：山田提供可追溯照度計(jì)現(xiàn)場標(biāo)定，30 min 完成，出具 JCSS 報(bào)告，滿足 ISO14644-1/2 要求。九、一句話總結(jié)YP-250I / YP-150I 用“陽光級"顯色和零紫外安全，把 12 英寸與 8 英寸晶圓上的亞微米缺陷變成“一眼可見"。燈亮 3 秒，缺陷現(xiàn)形——這就是 FAB 里穩(wěn)定可靠、也是低成本的一道質(zhì)量防線。

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