日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點儀是專門用于半導(dǎo)體超純氣體濕度監(jiān)測的高精度儀器。在半導(dǎo)體制造過程中，氣體的純度和濕度控制至關(guān)重要，因為微小的濕度變化可能會對半導(dǎo)體器件的性能和質(zhì)量產(chǎn)生嚴重影響。以下是關(guān)于日本Tekhne露點儀的詳細介紹：
一、產(chǎn)品概述
二、主要特點
高精度測量
測量范圍：能夠測量極低的露點溫度，通常在-100°C至0°C之間，適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
測量精度：露點溫度測量精度可達±0.1°C，確保測量結(jié)果的高可靠性。
重復(fù)性：測量結(jié)果具有高重復(fù)性，確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
快速響應(yīng)
高穩(wěn)定性
數(shù)據(jù)管理
數(shù)據(jù)記錄：設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能，可存儲大量的測量數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出：支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式，方便用戶將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計算機進行分析。
數(shù)據(jù)分析：配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件，可對測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析，生成報表。
用戶友好
三、技術(shù)參數(shù)
測量范圍：
測量精度：
響應(yīng)時間：小于1分鐘
傳感器類型：高精度露點傳感器
數(shù)據(jù)存儲：內(nèi)置大容量存儲器，可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
環(huán)境要求：
溫度：-10°C至50°C
濕度：0%至95% RH（無凝結(jié)）
電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約100W
尺寸與重量：
四、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造
電子制造
科研機構(gòu)
五、操作流程
開機準備
氣體連接
自動測量
數(shù)據(jù)輸出
設(shè)備維護
六、優(yōu)勢與價值
高精度：能夠測量極低的露點溫度，確保超純氣體的濕度控制。
快速響應(yīng)：快速測量和實時監(jiān)測，便于及時調(diào)整氣體干燥系統(tǒng)。
高穩(wěn)定性：先進的傳感器技術(shù)和溫度補償功能，確保設(shè)備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
數(shù)據(jù)管理：支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出，方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
用戶友好：操作簡便，內(nèi)置校準功能，確保測量精度。
七、售后服務(wù)
技術(shù)支持：提供專業(yè)的技術(shù)支持，包括設(shè)備安裝、調(diào)試、培訓(xùn)和維護。
保修服務(wù)：設(shè)備提供一年有限保修服務(wù)，保修期內(nèi)免費維修和更換零部件。
備件供應(yīng)：提供充足的備件供應(yīng)，確保設(shè)備的長期穩(wěn)定運行。
更新時間：2025-08-15 
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