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                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  日本takano 晶圓表面檢測設備WM系列的產品介紹 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  日本takano 晶圓表面檢測設備WM系列的產品介紹
                  
            
                  更新時間：2024-08-08      瀏覽次數：684
                  
            
                  
            	 
                  WM系列規格
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                  無圖案300mm晶圓表面檢測系統
                  WM-10R是300mm晶圓的標準型號
                  是48nm的高靈敏度檢測系統。
                  WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.




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                  2.png200mm以下無圖案晶圓表面檢測系統

                  WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號。
                  WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.





                  1. 獨的創高靈敏度光學系統
                  • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。
                  • WM 系列有 2 個寬數值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測。
                  2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描
                  • WM系列是帶轉速控制的螺旋掃描方式。
                  • XY-數據發送到 EB 審查設備，然后可以通過輕松對齊進行審查。

                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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