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                  產(chǎn)品分類
          
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                  技術(shù)文章/ article
                  
        
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                  日本takano 晶圓表面檢測(cè)設(shè)備WM系列的產(chǎn)品介紹
                  
            
                  更新時(shí)間：2024-08-08      瀏覽次數(shù)：581
                  
            
                  
            	 
                  WM系列規(guī)格
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                  無圖案300mm晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)
                  WM-10R是300mm晶圓的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
                  是48nm的高靈敏度檢測(cè)系統(tǒng)。
                  WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.




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                  2.png200mm以下無圖案晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)

                  WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號(hào)。
                  WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.





                  1. 獨(dú)的創(chuàng)高靈敏度光學(xué)系統(tǒng)
                  • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。
                  • WM 系列有 2 個(gè)寬數(shù)值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測(cè)。
                  2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描
                  • WM系列是帶轉(zhuǎn)速控制的螺旋掃描方式。
                  • XY-數(shù)據(jù)發(fā)送到 EB 審查設(shè)備，然后可以通過輕松對(duì)齊進(jìn)行審查。

                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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