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                  技術文章/ article
                  
        
                   您的位置：首頁  -  技術文章  -  ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產品介紹 
                  
        
                  
      
                  
      
                  
        	
                  ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產品介紹
                  
            
                  更新時間：2024-05-21      瀏覽次數：535
                  
            
                  
            	 
                  ADTEC Plasma Technology 產品
                  高周波射頻電源
                  • image.png
                  • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產品
                  • 提供降低成本的產品
                  • 安裝了最新的CPU
                    （高速響應性能UP）
                  • 支持新的通訊方式
                    （可對應EtherCAT）

                  自動匹配阻抗設備
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                  • 可實現高速自動整合
                  • 監視史密斯圓圖上的腔室阻抗
                  • 使用專用軟件實時顯示，
                    行波，反射波電力功率等
                  IDX產品
                  直流電源
                  • image.png
                  • 可在一臺電源上實現多種輸出模式
                    可實現可變Duty的雙極輸出
                    可實現直流及直流脈沖方式輸出
                  • 搭載高速電弧遮斷功能

                  微波電源
                  • image.png
                  • 應用于等離子處理設備
                  • 不受高電壓及振動部產生的散熱影響，并且設置環境也適合廣大范圍　


                  • TXR，TXL，TXM，TXH系列
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                    AX系列
                    image.png
                    • 可承受高反射的AB類線性AMP
                      高可靠性和高耐用性設計
                    • 對應300W～30kW
                    • 安裝了最新的CPU
                      （高速響應性能UP）
                    • 支持新的通訊方式
                      （可對應EtherCAT）
                    • 300W～對應


                  
            
                  
         	
                                            
        
                  
      
      
    
                  
  
                  

                  

 



                  
  
                  
    
    
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