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                  技術(shù)文章/ article
                  
        
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                  日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質(zhì)量流量控制器的介紹
                  
            
                  更新時(shí)間：2024-04-03      瀏覽次數(shù)：571
                  
            
                  
            	 
                  日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質(zhì)量流量控制器的介紹
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                  ■目標(biāo)流體：氣體　
                  ■最大流量：氣體 100SCCM~30SLM
                  ■精度：±1%SP (10~100%FS)
                  　　　　±0.1%FS (2~10%FS)
                  • PI…壓力不敏感
                    可針對壓力波動進(jìn)行穩(wěn)定的流量控制。
                  • 帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ，
                    通過EP處理和氧化膜處理，
                    可兼容腐蝕性流體。
                  • 兼容DeviceNet通信
                  • 與 W 密封配件兼容
                  • SP精度可實(shí)現(xiàn)高精度測量，
                    1秒內(nèi)響應(yīng)全流量控制范圍
                  • 帶有專用應(yīng)用程序的多范圍功能

                  現(xiàn)有型質(zhì)量流量控制器在供給側(cè)
                  通過對壓力變動過敏反應(yīng)，瞬間變大
                  由于流量紊亂等，當(dāng)控制變得不穩(wěn)定時(shí)
                  有這樣的課題。
                  ST-500具有解決該問題PI功能
                  （PI…壓力不敏感（壓力不靈敏）
                  是新配備的質(zhì)量流量控制器。

                  在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器，
                  將由此捕捉到壓力變動與變動前的壓力進(jìn)行比較
                  并實(shí)時(shí)地對閥開度進(jìn)行校正
                  由此，能夠?qū)毫ψ儎舆M(jìn)行穩(wěn)定流量控制
                  是有可能的。
                  需要半導(dǎo)體制造裝置等穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性
                  適用于氣體供給工藝。
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