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更新時間：2024-04-03 
瀏覽次數：478日本KOFLOPI型號 ST-500 系列質量流量控制器的介紹
PI…壓力不敏感
可針對壓力波動進行穩定的流量控制。
帶隔膜式閥門的金屬密封MFC ，
通過EP處理和氧化膜處理，
可兼容腐蝕性流體。
兼容DeviceNet通信
與 W 密封配件兼容
SP精度可實現高精度測量，
1秒內響應全流量控制范圍
帶有專用應用程序的多范圍功能
現有型質量流量控制器在供給側
通過對壓力變動過敏反應，瞬間變大
由于流量紊亂等，當控制變得不穩定時
有這樣的課題。
ST-500具有解決該問題PI功能
（PI…壓力不敏感（壓力不靈敏）
是新配備的質量流量控制器。
在流量傳感器前段搭載有壓力傳感器，
將由此捕捉到壓力變動與變動前的壓力進行比較
并實時地對閥開度進行校正
由此，能夠對壓力變動進行穩定流量控制
是有可能的。
需要半導體制造裝置等穩定性和準確性
適用于氣體供給工藝。
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