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更新時間：2024-01-04 
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不同的因素可以影響超聲/兆聲波過程中空化能量的強度，例如液體的表面張力或從基板到換能器的距離。
然而，最關鍵的因素是聲波的頻率。
在典型的超聲波清洗過程中，傳感器的工作頻率在25 kHz和100 kHz之間。這種較低的頻率會產生直徑達
150µm的較大氣泡，并在破裂時產生較高的空化能量。兆聲波處理利用頻率從400千赫到5兆赫。這些更高
的頻率產生更小的氣泡，當它們破裂時，產生的空化能量也相應減少。超聲清洗過程中產生的高空化能會
破壞基體的敏感結構。由兆聲波產生的更溫和的清潔能源能夠去除納米范圍內的顆粒，而不會損壞敏感設
備。
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