這種新型紫外LED光源由OAI久經考驗的光刻專家設計和制造。該光源提供了許多獨的特的好處，
其中最重要的是在異常長的壽命內保持一致的強度。該光源非常節能，無需維護或更換光源，
并且不含汞。
OAI紫外LED光源提供的光束大小在4"和12"之間，光束均勻性優于+/- 4%。它具有一個棱
鏡陣列和光導管，以實現卓的越的均勻性。準直角度小于2度。這種光源具有可變的強度，波長
為365納米、405納米或兩者的組合。功能包括劑量控制和定時曝光。易于使用，OAI光源使
用觸摸屏界面，并有一個USB遠程接口。
UV光源提供多種選擇，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長或多波長版本。
該系統可以集成到任何OAI光刻系統中。
更新時間：2023-12-13 
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