PIE SCIENTIFIC 研究實驗室自動臺式等離子清潔器 Tergeo Plasma Cleaner

更新時間：2023-11-14

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用于研究實驗室和小批量生產的自動臺式等離子清潔器

Laboratory Plasma Cleaner for PDMS bonding, photoresist descum, sample surface cleaning, 2D materials research

典型應用:

引線接合、倒裝芯片底部填充、器件封裝和解封裝
用于碳質污染物去除和氧化物還原的SEM/TEM樣品清潔
生物醫用涂層前的表面處理及提高醫用植入物的親水性
環氧樹脂粘合前的光學、玻璃和基板清潔
光刻膠灰化、去渣和硅晶片清洗
PDMS、微流體、載玻片和芯片實驗室
金屬與金屬或復合材料改進結合
塑料、聚合物和復合材料改進粘合

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特點:

德國萊茵TV認證并確認
UL、獨立選舉委員會和加空局
61010-1安全標準。
NRTL
順從！
清洗模式:直接模式和下游模式。用于兩種等離子體清洗模式的雙等離子體源。用于高速蝕刻和表面改性的直接模式等離子體清洗:遠程/下游模式等離子體清洗，用于溫和去除表面污染物，例如SEM/TEM樣品清洗。
連續和脈沖等離子體。脈沖比可以從100%(連續)變化到小于1%。Tergeo等離子體系統不僅能以1瓦的間隔調節射頻功率，還能產生連續的脈沖等離子體。改變等離子體強度幾個數量級以上。
操作方法:自動配方執行；自動作業序列執行；人工操作。
等離子體傳感器:雙等離子體強度傳感器(專的利的申請中)監控原位等離子體源和遠程等離子體源。等離子體強度實時顯示在LCD觸摸屏上。
先進的過程控制功能:壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流量計、雙等離子體強度傳感器、自動阻抗匹配。
腔室材料:鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強了耐化學性，減少了耐熱玻璃中的堿性雜質(鈣、鉀、鈉)。
石英腔尺寸:內徑:110mm外徑:120mm深度280毫米
樣品架:2mm厚的高純度石英板
rf天線:外部RF電極和天線設計減少了在具有內部金屬電極的等離子體清潔器中發現的金屬濺射問題。
射頻電源:13.56MHz高頻射頻電源，自動阻抗匹配，用于原位等離子體源。射頻功率有0-75瓦和0-150瓦兩種選擇，間隔1瓦。13.56MHz射頻電源產生的等離子體密度比KHz電源高得多。
氣體輸入:最多三個質量流量控制氣體輸入(0~100sccm)。一個用于通風和吹掃的附加端口。英制世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面:7英寸電阻觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。
食譜和工作支持:總共20個可定制的食譜。作業序列中最多三個清洗步驟。

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